Nombre Parcourir:46 auteur:Éditeur du site publier Temps: 2023-08-21 origine:Propulsé
La technologie MEMS CHIP est une technologie qui intègre des microstructures mécaniques et des circuits électroniques. Il signifie Micro-Electro-Mecanical Systems, qui utilise la technologie de microfabrication semi-conducteurs pour créer une variété de structures micro-mécaniques de taille micron sur une puce, telles que les micro-capteurs et les micro-actuateurs, qui sont intégrés à des circuits CMOS.
Ces structures sont intégrées aux circuits CMOS et la taille d'un Puce mems est généralement entre les microns et les millimètres. Il peut réaliser certaines fonctions de système micro-mécanique spécifiques.
Le développement de la technologie MEMS remonte aux années 1960. Les premiers articles universitaires sur MEMS ont été publiés à l'époque. À cette époque, le premier article universitaire sur MEMS a été publié. Cet article a introduit le concept de MEMS. Par la suite, dans les années 1980, avec le développement de la technologie de fabrication de semi-conducteurs. En particulier, les avancées de la photolithographie ont conduit les grandes entreprises à étudier les MEMS basées en silicium.
Dans les années 1990, le premier produit commercial MEMS a été introduit. Il a été utilisé pour améliorer la détection d'impact de l'airbag dans les systèmes automobiles. Depuis lors, la technologie MEMS est entrée dans une période de développement rapide et la gamme d'applications continue de se développer. Dans le même temps, diverses technologies de traitement MEMS et méthodes d'emballage ont progressivement mûri et améliorée.
À l'heure actuelle, la technologie MEMS est devenue une plate-forme technologique relativement mature. Il est largement utilisé dans une variété de systèmes électroniques, l'application principale de MEMS est concentrée dans le système électronique automobile. Il existe également divers produits d'électronique grand public et Contrôle des processus industriels et d'autres champs.
À long terme, avec le développement de l'Internet des objets, les réseaux de capteurs MEMS joueront également un rôle important. De plus, la conception intégrée des puces MEMS et CMOS est également une direction de développement importante.
1. Systèmes électroniques automobiles dans une variété de capteurs
2, téléphones intelligents et tablettes dans les composants
3, tests biomédicaux et produits chimiques équipement d'analyse
4, aérospatiale, industrie de la défense et autres champs haut de gamme
