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Air numérique MFC Contrôleur de débit électronique de masse Oxygène Azote gazeux

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  • AMC2000

Présentation du produit

Le contrôleur de flux de gaz de masse AMC2000, abrégé en MFC, est un dispositif qui mesure et contrôle avec précision le débit massique des gaz.  

Le capteur adopte une puce de flux de masse MEMS auto-développée, qui est précise, stable et a des caractéristiques telles qu'une résistance à haute et basse température, une bonne linéarité et un temps de réponse rapide.  

La plage AMC2000, la précision, la répétabilité, le temps de réponse, etc. ont été calibrées avant de quitter l'usine.

Paramètre du produit

capteur de température

Application

1. Fabrication de semi-conducteurs

Les contrôleurs de débit massique à gaz sont connectés à la ligne d'alimentation en gaz pour contrôler avec précision le débit de gaz dans la chambre de réaction en fonction de la valeur définie pour assurer le temps de réponse et la stabilité du gaz pendant le processus de croissance ou de gravure des matériaux semi-conducteurs.

2. Ventilateur médical

Le contrôleur de débit de masse à gaz est connecté au côté alimentation de l'oxygène du ventilateur pour ajuster le débit d'oxygène au patient en temps réel en fonction de l'état du patient, pour s'assurer que le patient obtient la concentration précise de l'inhalation d'oxygène.

3. Système de gaz de laboratoire

Les contrôleurs de débit massique sont connectés à diverses sources de gaz expérimentales pour fournir un débit fixe de gaz stabilisé pour l'équipement expérimental afin d'assurer la cohérence des conditions expérimentales et d'améliorer la répétabilité des expériences.

AMC2000

sur: 
En vertu d'un: 

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CATÉGORIE DE PRODUIT

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